OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐

簡要描述：OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20ºC/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口，儀表內(nèi)配有控溫軟件，可將升溫程序和曲線導(dǎo)出。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

更新時(shí)間：2023-11-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

OTF-1200X-RTP-II 3英寸近距離蒸發(fā)鍍膜儀爐

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)&真空腔	● 兩個獨(dú)立的加熱裝置，兩個獨(dú)立控溫裝置及兩路浮子流量計(jì)均被精巧的設(shè)計(jì)在一個可移動的鋁合金框架上。 ● 腔體是由高純石英管制成 ● 真空法蘭由不銹鋼制成
基本參數(shù)	● 石英腔體尺寸：11"O.D×10.8"I.D×9"H mm ● 推薦加熱速率：≦10℃/s ● 最高工作溫度：≦600℃ ● 總功率：8KW（8根紅外燈管，單根功率1KW） ● 電壓：AC220V，50Hz，單相（需20A的空氣開關(guān)）
加熱元件和載樣臺	● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實(shí)現(xiàn)快速加熱 ● 兩個獨(dú)立的加熱裝置之間的距離可調(diào)0-70mm ● 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上 ● 一個3"的基片載樣臺安裝腔體頂部 ● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（Ф3"×T0.5 mm ），使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度更加均勻 ● 可將AlN陶瓷片更換為石墨片（請點(diǎn)擊下圖3選購） ● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料 ● 如需要更換紅外燈管，請點(diǎn)擊下圖4選購
真空法蘭	● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作 ● 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口 ● 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口 ● 法蘭是通過兩個硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵（標(biāo)配不含機(jī)械泵）抽真空度可達(dá)10-2 torr，頂部法蘭可手動操作進(jìn)行上下移動來進(jìn)行加載/卸載襯底和蒸發(fā)料。 ● 一個防腐型數(shù)顯式真空表安裝在法蘭頂部，可精確測量腔體內(nèi)真空度。
溫控系統(tǒng)	● 兩個數(shù)顯式溫控表都可設(shè)置30段控溫程序 ● 每個溫控表都具有PID調(diào)節(jié)功能，保護(hù)加熱器不受過熱影響同時(shí)具有報(bào)警功能，避免過熱使熱電偶損壞 ● 該設(shè)備可與計(jì)算機(jī)相連接，可選購控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中。
工作溫度	每個加熱器最高溫度:≦600℃
熱電偶	兩個K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上
可選配件	水冷機(jī)
外形尺寸	850(L)×745(W)×1615(H) mm
警告	● 石英管密封采用真空密封，管內(nèi)可處于微正壓但壓力要小于0.02MPa。 ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全。 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
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質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。